金相測量顯微鏡主要用于LED封裝、半導(dǎo)體封裝、微電子行業(yè)、精密器件等高精度的尺寸及外形精密測量,如半導(dǎo)體行業(yè):對金球直徑測量、金球厚度尺寸測量、線弧高度測量、金線直徑測量、芯片尺寸測量、支架尺寸測量等。
LB-200采用進(jìn)口高精度光柵尺,Z軸分辨率高達(dá)0.1um,以滿足用戶不同產(chǎn)品的高精度測量需求。
覆蓋范圍廣:兼容多種測量和觀察需求
可操作性:操作更簡單、更高效
高度測量:實現(xiàn)對樣品表面凹凸的高精度測量
測量支持系統(tǒng):對復(fù)雜形狀也能簡單、高精度地測量
設(shè)備測試參數(shù):
| 設(shè)備型號 | LB-200 | |
| 測試范圍 | 200*100mm | |
| 儀器重量 | 75KG | |
| 金屬臺面尺寸 | 350*250mm | |
| 外形尺寸 | 700*900*800mm | |
| 玻璃尺 | 230*160mm | |
| X、Y分辨率 | 0.0005mm | |
| Z軸分辨率 | 0.0001mm | |
| 移動方式 | 手動 | |
| 物鏡 | 5X,10X,20X,50X | |
| 照明系統(tǒng) | 200萬??迪鄼C(jī) | |
| 照明系統(tǒng)光源 | 3W LED | |
| XYZ定位精準(zhǔn)度 | ±0.1um | |
| XYZ重復(fù)精度 | ±0.1um | |
| XY測量誤差 | (3+L/100)um,“L”為被測長度,單位:mm | |
| Z軸測量誤差 | (2.5+L/100)um,“L”為被測量長度,單位:mm | |
| 工作電壓 | AC110V-220V | |
| 功率 | 100W | |
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